シリコンの純粋な結晶からではなく、複数の元素で作られる「化合物半導体」が、データセンターや5G通信、電気自動車用として注目されている。サムコは40年以上前から化合物半導体の製造装置を開発・販売してきた。20年7月期は売上高58億6900万円（前期比18. 9%増）と過去最高を更新。株価は1月に上場来高値の4260円を記録した。
半導体に成膜・加工・洗浄を施す
多様な製品に対応する技術力が強み
サムコは、窒化ガリウムや炭化ケイ素など「化合物半導体」の製造装置の草分け的存在だ。化合物半導体はシリコンとくらべ加工が難しいが、高速で動作する、高い耐熱性、低消費電力、発光するなどさまざまな優れた特性を持っている。その特性を活かし、スマートフォンに搭載される高周波回路や顔認証に用いられる面発光レーザー、次世代のディスプレイとして注目されるマイクロＬＥＤ、通信機器や車載用として需要が高まるパワー半導体に使われるなど、化合物半導体の活躍の場が広がっている。
同社は「ＣＶＤ装置」「エッチング装置」「洗浄装置」の３種類の製造装置を製造・販売する。年間生産台数は１５０〜１６０台。装置の平均価格は１台当たり３千〜４千万円だが、中には１億円を超えるものもある。
ＣＶＤ装置は、半導体表面に10〜千ナノメートル（１ナノメートルは百万分の１ミリ）ほどの薄い膜を形成するもの。半導体を水やほこりから守ったり、半導体回路に不可欠な電気を通さない絶縁膜を作ったりすることができる。化合物半導体の需要増により、２０年７月期の売上高は１２４．３％増（前期比）と急拡大している。
売上の約６割を占めるエッチング装置は、半導体ウエハ上に施された薄い膜に微細な溝を彫るもの。同社は薬液を使用するウェットエッチングではなく、プラズマ加工による「ドライエッチング」用の装置を製造している。プラズマ加工とは、宇宙空間のような真空下で気体を励起状態にした（プラズマ化した）ものを用い、材料を微細加工する技術。半導体の小型化と高集積化が進むとともにドライエッチングの需要も拡大しており、２０年７月期のエッチング装置売上高は２０．３％増（前期比）と伸びている。
洗浄装置は、プラズマ処理によって半導体ウエハ上の微細なゴミや汚れを取り去るもの。売上高比率では約１割と低いが、後述するヘルスケア分野にも技術の新しい展開が可能である。
「化合物半導体にはさまざまな元素の組み合わせがある。製品が多岐にわたる上、それぞれに専門性の高い技術者が必要。当社には社員約１８０名中に開発技術者が６０名以上おり、顧客のニーズを汲み取って開発を行っている。技術偏重と言われるかもしれないが、それが当社の大きな強みです」（川邊史社長兼ＣＯＯ）
プラズマの研究から企業を設立
製品の44％を海外へ
輸出同社の創業者である辻理氏（現・代表取締役会長兼ＣＥＯ）は、１９７０年代にアメリカＮＡＳＡエームス研究所でプラズマ技術の研究を行っていた。帰国後、プラズマで半導体を加工できることに興味を持ち、79年に起業を決めたが、加工する対象として選んだのはシリコンではなく化合物半導体だった。当時、大企業が多くの人手をかけてシリコン半導体の研究をしており、化合物半導体は加工が難しいといわれていたが、未踏の分野にあえて挑んだ。
最初は研究・開発部門への納入が多かったが、やがて生産現場への販売が拡大してきた。現在は研究開発向け装置が２５％、生産用途向け装置が６５％、残り１０％が部品・メンテナンスという売上構成比となっている。創業当初からアメリカへ装置を販売し、８７年にはシリコンバレーに研究所を開設。２０００年以降にはアジア、欧州へ事業所を開設し、これまで世界30カ国に４０００台の製造装置を納入してきた。01年の上場時、海外売上高比率は10％程度だったが、20年７月期は44％へと増加。直近での伸びが大きく、前期比で46％増と大幅に拡大している。
「どの国の事業所でも、営業担当とサービス技術者をペアで展開してきた。今のところその両輪がうまく機能し、海外売上が拡大している。コロナ禍の中でもオンラインを活用すれば、やれることはたくさんあるとわかった。半導体を生産する多くの企業の海外売上高比率は８割以上。今後も海外事業に注力していく」（同氏）
23年に売上高を１・５倍に
世の中の期待に応えていく
同社は23年７月期までの新中期経営計画の中で、営業利益率２０％以上、海外売上高比率50％超、売上高総利益率５０％確保、新規事業の創出（年間売上高15億円）という数値目標を掲げている。
新規事業として期待をかけるのが、洗浄装置の技術を応用し滅菌などを行うヘルスケア事業だ。滅菌装置の開発は既に完了し、専門機関で評価が行われている。また洗浄技術を活用し、医学検査用の「マイクロ流体チップ」をアクアプラズマを用いて接合する技術を開発し、売上を伸ばしている。
「ヘルスケアの発展は半導体より早く、まさに大成長分野だと考えている。市場開拓の努力と、技術の応用を進めていきたい」（同氏）
２３年７月期には、コア事業だけで８６億円の売上高を目標としている。
「上場して２０年、そろそろ売上高１００億円が視野に入ってきた。顧客からも、生産用途向けの大型装置を増産してほしいというオファーが来ている。世の中から期待されているのが我々の励み。ここからもう１段、２段の働きをしようと思っています」（同氏）
（提供＝青潮出版株式会社）
