野村マイクロ・サイエンスが「超純水」技術を武器に、半導体関連分野などでの存在感を高めています。

膜分離技術を発展させて、「純度100％の理論純水」に限りなく近い高純度の純水を精製する技術を持ち、半導体メーカーのほか、フラットパネルディスプレイ（FPD）メーカー、製薬会社など向けに超純水の製造装置を納入しています。

たとえば半導体の製造工程では、ウエハー製造から成膜、レジストコーティング、さらにエッチングからレジスト剥離、組立と、およそ3割の工程が洗浄と言われ、性能や歩留まりの向上に超純水が不可欠となっています。

八巻由孝社長に、技術の一段の向上や、用途の拡大など、今後の見通しを聞きます。

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